深圳市科晶智达科技有限公司

产品型号：

GSL-1100X-SPC-16 单靶等离子溅射仪

产品简介：

GSL-1100X-SPC-16 单靶等离子溅射仪是一种已经通过CE认证的紧凑型等离子溅射仪。用于金、铂、铟、银等多种金属的溅射镀膜。样品直径可达50mm,镀膜厚度可达300埃。特别适用于SEM样品的镀膜。本品包括真空泵和预置一个金靶。

主要特点：

GSL-1100X-SPC-16 单靶等离子溅射仪主要特点如下：

1. 配置有样品溅射室真空表和溅射电流表，用以指示、监控仪器状态；
2. 溅射电流调整控制器、微型真空气阀。在工作时结合内部自动控制电路很容易控制真空室压强、电离电流及任意选择所需要的电离气体，获得最佳镀膜效果；
3. 特殊设计的钟罩边缘橡胶密封圈，可保证长期使用不会出现影响样品溅射室真空度的玻璃钟罩“崩边”现象；
4. 陶瓷密封高压头比通常采用橡胶密封的更经久耐用；
5. 根据电场中气体电离特性，采用大容量样品溅射真空室和相应面积溅射靶，使溅射镀层更均匀纯净。

技术参数：

GSL-1100X-SPC-16 单靶等离子溅射仪主要技术参数：

1、输入电源：220V，总功率小于2000W(包括真空泵)；

2、样品室尺寸：直径160mm,高度120mm;

3、样品台：直径50mm,可以同时给8个SEM样品镀膜，样品台高度可调。最大均匀镀膜区域为直径45mm;

4、气氛控制：针阀控制气体流量，已取得更好的镀层效果;

5、外形尺寸：长400mmx宽300mmx高400mm;

6、净重：约30公斤；

7、保质期和证书：1年保质期及CE认证证书。

产品规格：

标准配件：

可选配件：

金、铟、银、铂等各种靶材