清洗花篮

硅片承载器均以PFA树脂为原料制造而成。具有以上特点：耐强酸，强碱的腐蚀，不被极性很强的有机溶剂所溶胀，质地柔软，不损伤硅片，不粘污硅片，并与国外同类制品有良好的互换性，可在±250℃各种介质中长期使用。与承载器相配的还有单梁2英寸、3英寸PFA提把，双梁2英寸、2.5英寸、3英寸、4英寸和5英寸PFA提把。