等离子清洗设备

1) 整机外形尺寸（约）:950×1700×1000（mm） 外观喷塑处理；

2)反应仓尺寸：W450mm×H600mm×D450mm；

电极板有效尺寸：350×380(mm)

3) 电源：主系统电源: 380×(1±10%)V(AC) 50Hz～60Hz 三相五线

4) 等离子体频率：13.56MHz；

5) 射频电源功率：（0～600）W连续可调；

6) 设备功率：≤4kW

7) 控制方式：采用包括触摸屏人机界面的PLC控制，操作方式包括自动模式和手动模式。在自动模式下将不同工艺参数按照配方方式管理，可同时存储50组不同的配方。使用时只需要将相应配方号调出即可。设备参数分级管理，设备操作员、工艺人员、维护人员使用不同口令管理不同参数，提高设备安全性。手动模式用于实验工艺以及设备维护维修。

8) MFC质量流量计控制（标准配置2路）

9) 气体流量：(0～200)ml/min （标准气压,0℃）

10)工作气体(氧、氩等)接口压力：≤0.5MPa

11)压缩空气（启动气动角阀）接口压力：0.5Mpa

12)净化冷却气体（氮气）接口压力：0.5MPa

13)设备工作节拍：单次清洗时间≤8min（反应时间3min左右）

14)工作真空度：10～100Pa

15)  反应仓材质：采用高纯度304不锈钢定制，缓解氧化生锈现象