日期:2011-07-12 10:58
近日，诺发公司宣布其已向旭瑞光电公司提供了一台VECTOR（R）型等离子增强化学气相沉积（PECVD）设备。旭瑞光电是一家位于佛山的合资公司，其股东之一是世界领先的高亮度LED生产企业--美国旭明公司（SemiLEDsCorporation ）。这台新的VECTOR将被安装在佛山旭瑞光电的生产车间里，用于生产金属基垂直结构高效LED.
每晶片成本和每流明成本是驱动主流照明市场接受LED技术的关键因素。现有LED制造技术，主要是基于2-4英寸不同直径的蓝宝石衬底进行外延生长，这种方法本身生产效率低、能量消耗大，制备一片2英寸蓝宝石衬底LED,平均消耗的电能