日期:2011-07-12 10:58
高达200kWh.
与传统LED镀膜设备相比，VECTOR系统在行业处于领先地位，因为它拥有宽的工艺窗口和高产能，使LED的每晶片成本得以下降。 VECTORLED镀膜系统中有一个多晶片载体装置，能够放置2、3、4、6、8和12英寸的不同尺寸晶片，产能巨大，且沉积的各尺寸薄膜质量和均匀性都 很好，此外，VECTORLED系统是在较低温度下沉积薄膜，这与传统LED用PECVD设备相比，生产过程易于控制且高效节能。
这种新型VECTOR LED镀膜系统是LED芯片制 造产业中最具生产力的PECVD系统诺发电介质和PECVD事业部高级副总裁兼总经理Mr. Sesha Varadarajan表示，我