日期:2011-07-12 13:36
启，产业持续发展需要光效的提高和成本降低的双重推动，作为产业链关键设备的MOCVD，占到商家资本输出的50%左右，对于控制LED的薄膜层，进而影响LED的颜色均匀性、亮度及电子特性起到重要作用。在成本敏感度较高的5个因素产量、亮度、资本内效率、机器恢复及运用气体等方面不断改进。在机台的衬底材料、尺寸、工艺灵活性、制造环境、系统可靠性及可维护性等方面不断取得突破。继市场接受度很高的K46i之后，Veeco又新推出了MaxBright系列产品。
另一MOCVD厂商Aixtron大中华区Christan Geng 博士也做了报告，他指出大尺寸的晶圆是产业发展的