单晶硅生产工艺
日期:2011-05-20 11:43
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硅主要以siO2形式存在于石英和砂子中。它的制备主要是在电弧炉中用碳还原石英砂而成。该过程能量消耗很高,约为14kwh/kg,因此硅的生产通常在水电过剩的地方(挪威,加拿大等地)进行。这样被还原出来的硅的纯度约98%一99%,称为冶金级硅(MG一Si)。大部分冶金级硅用于制铁和制铝工业。目前全世界冶金级硅的产量约为50万吨/年。半导体工业用硅占硅总量的很小一部分,而且必须进行高度提纯。电子级硅的杂质含量约10-10%以下。
典型的半导体级硅的制备过程:粉碎的冶金级硅在硫化床反应器中与HCI气体混合并反应生成三氯氢硅和氢气
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