日期:2011-05-24 15:03
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开发出多线切割法,可以切出很薄(~100Pm)的硅片,切割损失小(~30%),硅片表面切割损伤轻,有利于提高电池效率,切割成本低。
拉制单晶有CZ法(柑祸拉制)和区熔法两种。CZ法因使用石英柑蜗而不可避免地引入一定量的氧,对大多数半导体器件来说影响不大,但对高效太阳电池,氧沉淀物是复合中心,从而降低材料少子寿命。区熔法可以获得高纯无缺陷单晶。常规采用内圆切割(ID)法将硅锭切成硅片,该过程有50%的硅材料损耗,成本昂贵。现在已经开发出多线切割法,可以切出很薄(~100Pm)的硅片,切割损失小(~30%),硅片表面切割
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