普乐成功研发非晶硅锗薄膜
日期:2011-09-01 14:46
沉积出优质的非晶硅锗薄膜是非常具有发展前景的。近年来，普乐一直在做这方面的研发和生产，目前已经能在单室多片的平行模式PECVD系统中沉积出了均匀性很好的非晶硅锗薄膜了。

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