日期:2011-05-30 17:58
状态:待解决
提问:admin
LED外延片工艺流程：
近十几年来，为了开发蓝色高亮度发光二极管，世界各地相关研究的
人员无不全力投入。而商业化的产品如蓝光及绿光发光二级管LED及激光二
级管LD的应用无不说明了III－V族元素所蕴藏的潜能。在目前商品化LED之
材料及其外延技术中，红色及绿色发光二极管之外延技术大多为液相外延
成长法为主，而黄色、橙色发光二极管目前仍以气相外延成长法成长磷砷
化镓GaAsP材料为主。
一般来说，GaN的成长须要很高的温度来打断NH3之N-H的键解，另外一
方面由动力学仿真也得知NH3和MO Gas会进行反应产生没有挥发性的副产物
最佳答案:
暂无最佳答案
[全部回答(0)] [我来回答]