日期:2012-10-26 09:19
足生产需求，MaxBright MHP设备能在降低生产成本的同时，有助于推动客户的生产力和良率。
关于TurboDisc MaxBright MPH氮化镓MOCVD多反应腔设备
MaxBright MHP设备是业内生产效率最高的MOCVD设备，该设计旨在生产高品质、高亮度LED。与MaxBright相比，晶圆内波长均匀性提高了20%，增加了维修便利性，而且厂房利用率提高了15%。通过改善热性能和流动性，良率得以提高。该设备采用了Veeco已经生产验证的UniformFlowFlange?技术和自动化经验，将多个高产能的MOCVD反应腔组合成模块化的2-或4-的集群构架。