日期:2011-06-01 17:40
状态:待解决
提问:admin
在LED芯片表面形成凹凸时，以前长期使用光刻（photolithographic）技术。而打破这一常识的就是纳米压印（nanoimprint）技术。纳米压印技术的特点在于能够以低成本在短时间内形成纳米级间隔的微细凹凸。据丸善石油化学介绍，该公司将力争在2011年下半年到2012年启动的新工厂中采用该技术，目前处于光刻技术阵营与纳米压印技术阵营激烈竞争的状态。
丸善石油化学开发的纳米压印树脂具有对氟类及氯类气体的耐蚀刻性出色（该公司）的特点。比如，对LED使用的蓝宝石基板的蚀刻选择比为0.7~0.8.这一数值越高，就越能够减薄基板微细加工用的
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