LED外延片工艺流程
日期:2011-06-07 16:33
状态:待解决
提问:admin
除量在10~20um。此处产生粗抛废液。
  精抛光:使用精磨剂改善硅片表面的微粗糙程度,一般去除量1 um以下,从而的到高平坦度硅片。产生精抛废液。
  检测:检查硅片是否符合要求,如不符合则从新进行抛光或RCA清洗。 检测:查看硅片表面是否清洁,表面如不清洁则从新刷洗,直至清洁。
  包装:将单晶硅抛光片进行包装。
  芯片到制作成小芯片之前,是一张比较大的外延片,所以芯片制作工艺有切割这快,就是把外延片切割成小芯片。它应该是LED制作过程中的一个环节
  LED晶片的作用:
  LED晶片为LED的主要原材料,LED主要依靠
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