日期:2011-06-29 11:45
状态:待解决
提问:admin
其一，增大外延片面积：外延生长的园片面积，从目前采用2寸及部分4寸已瞄准目标向6寸进军，虽然外延芯片面积增大，在技术上要克服片子的均匀性、龟裂、变形等出现的新问题，但降低成本非常显着。另外，生产MOCVD的厂家目前还正在研发8寸圆片的设备。
其二，改进外延生长：Veeco亚洲总裁王克扬介绍从MOCVD的良品、工艺、架构着手，具体对平均无故障间隔时间（MTBF），平均清洁间隔 时间（MTBC）、平均修复时间（MTTR）这三种时间进行改进，以及设备间匹配性和线上工艺控制，可提高产量，使外延片的成本从2009年的1美元 /cm2降至2014年
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