） 6．扩张面积： 120/270 cm2 7．外型尺寸： 长360mm×宽300mm×高850/950mm 8．机器重量： 20kg 四．操作步骤： 1．插上电源，气管快速接头接上高压气管； 2．打开电源开关，将温度设定于75℃（不同晶片膜温度差异±5℃）； 3．将上气缸开关拨至“上升”位置，上压模回至最上方。将下气缸开关拨至“下降”位置，下压模回至最下方（反复几次下气缸动作，将上升速度调整至越慢越好）； 4．松开锁扣，掀起上工件板，将固晶内环放于下压模，将晶片膜放于下压模正中央，晶片朝上，将上压模盖上，锁紧锁扣； 5．将下气缸开关拨至“上升”位