：精确及可调图像识别定位系统 9.电源：220V±10V，50HZ 10.功率：1300W 11.空气源（压力）：3～5Kgf/c㎡ 12.内置不间断电源系统（UPS） 13.外置式真空发生系统 14.无限程序储存数量 15.双LCD彩色显示屏 16.多晶圆独立控制 17.漏晶检测 体积和重量： 体积（长×宽×高）：1000mm×900mm×1600mm 重量：750Kg 固晶系统： 固晶头：表面吸取式 固晶壁：90° 固晶力度：20g～200g 芯片XY工作台： 最大行程：8”×8”（203mm×203mm） 精确度：±0.3mil 复测精度：±0.2mil 芯片环尺寸：6”或4”（可选） 顶针Z向最大行程：3mm 固晶XY