日期:2011-12-23 11:55
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提问:匿名
冲重复频率为35~45kHz。常用的刻蚀阈值约为2J/cm2,也就是能将25J的激光能量聚焦到直径为40m的面积上,其平均功率非常低。由于绿光激光器的平均功率均为数瓦量级,因此能够将光束分光后进行多光束并行加工,从而进一步提高工作效率。
对于P1、P2和P3层的刻线应用而言,用于微加工应用的、输出波长为1064nm和532nm的结构小巧紧凑的二极管泵浦激光器,无疑是无疑是一种理想的选择,并且这种激光器能够提供极高的脉冲稳定性。这类激光器的脉冲持续时间为8~ 40ns,脉冲重复频率为1~100kHz。
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