日期:2011-04-13 15:13
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束蒸镀台，鉴于作为电极的金属熔点高，金属附着力要求较高，LED行业普遍使用电子束蒸镀机。目前国内LED生产用蒸镀台目前仍以进口为主。国内虽然已掌握蒸镀台原理，并能自行制造实验室用蒸镀台，但由于自动化程度、工艺重复性、均匀性等问题，没有进入大生产线使用。鉴于LED电极沉积用蒸镀台相比半导体PVD设备难度较低这一情况，国内具有半导体PVD设备开发经验的设备商，将有能力实现LED蒸镀台国产化。
4、PECVD工艺及设备
PECVD工艺是在完成外延工艺后，在晶片表面镀上一层SiO2或SiNx,作为电极刻蚀需要的硬掩模，以增大掩模与GaN外延层的
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