真空镀膜机
电场中气体电离特性，采用大容量样品溅射真空室和相应面积溅射靶，使溅射镀层更均匀纯净。





技术参数：


GSL-1100X-SPC-16单靶等离子溅射仪主要技术参数：
1、输入电源：220V，总功率小于2000W(包括真空泵)；
2、样品室尺寸：直径160mm,高度120mm;
3、样品台：直径50mm,可以同时给8个SEM样品镀膜，样品台高度可调。最大均匀镀膜区域为直径45mm;
4、气氛控制：针阀控制气体流

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