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LF400-S气体质量流量计质量流量控制器
0~1,2,3,5,10,15,20,30
精度(%F.S)
1(15SLM)
1.5(>15SLM.)
控制阀动作型式
常闭式
线性(%F.S.)
0.5~1(15SLM)
2
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