等离子清洗设备
同参数，提高设备安全性。手动模式用于实验工艺以及设备维护维修。
8)MFC质量流量计控制（标准配置2路）
9)气体流量：(0～200)ml/min （标准气压,0℃）
10)工作气体(氧、氩等)接口压力：0.5MPa
11)压缩空气（启动气动角阀）接口压力：0.5Mpa
12)净化冷却气体（氮气）接口压力：0.5MPa
13)设备工作节拍：单次清洗时间8min（反应时间3min左右）
14)工作真空度：10～100Pa
15)反应仓材质：采用高纯度304不锈钢定制，缓解氧化生锈现象

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