时监控，并显示运行状态、报警记录和工艺曲线记录、工作时间纪录，适合维护，可以提供工艺参考。
5.可存储50组工艺配方，随意调用。
6.清洗时间、洁净压力、射频功率、工艺气体流量、设定可调。
7.工艺参数受密码保护，分级密码管理查询。
8.一键完成全自动工艺，实时故障报警、非法操作提示、清洗结束提示等。
9.自动提醒系统维护、更换真空泵油等，避免机器过载、过老化情形下工作，延长使用寿命。
10.气体质量流量计采用美国进口，由模拟量输入输出，量程为0～200sccm可在量程范围内无级调节，根据特殊的工艺要求可用PLC对质量流量计进