等离子清洗设备
行PID调节而实现真空度的控制。11.根据特殊的工艺要求可使用干泵，尾气处理设备，油过滤器，过滤返油装置等,电极结构（专利申请中）的高等离子通量设计能很好地提高等离子体的均匀性及稳定性。

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