日期:2011-06-20 11:13
亿韩元(约4,500万美元)研发经费，用于推动MOCVD设备自制、引进制程自动化系统，及开发高速封装/检测设备。
据报道，韩厂周星工程(Jusung Engineering)于韩国MOCVD设备自制计划中，居主导企业地位，其设备已于2010年6月完成开发，而韩厂Top Engineering亦同样已于2010年6月完成MOCVD设备开发。
美国应用材料公司(Applied Materials)近期已研制出MOCVD设备样机，并和IMEC共同合作在MOCVD上生产出8英寸硅衬底外延片。
中国政府对于MOCVD设备的热情持续不减，MOCVD设备国产化的呼声不止，但是在量产化、市场化方面仍需时间来考验。