统传感器做比较时，这种优势是非常明显的。另外一个优势是与介电层的快速迁移有关的，它降低了金属迁移，这是在传统传感器上引起老化漂移的一个主要原因。
小孔几何学
在传统传感器与HTF 之间最显著的差异是它们的小孔几何性质。传统传感器依赖吸湿性Al2O3 结构去吸附水，而HTF 传感器依靠小孔几何性质--
即减缓进入小孔的水分子的布朗运动。HTF 传感器的设计导致小孔中有更多的电介质，可产生一个更高的电容。从该特性衍生出的另一个优势是：HTF
的小孔几何性质几乎不随时间改变。然而传统的Al2O3 结构是不稳定的，会慢慢倒塌成非吸湿性